激光打标头,扫描振镜

激光打标设备的核心是激光打标控制系统和激光打标头，因此，激光打标的发展历程就是打标控制系统和激光打标头的发展过程。从1995年起，在激光打标领域就经历了大幅面时代、转镜时代和振镜时代，控制方式也完成了从软件直接控制到上下位机控制到实时处理、分时复用的一系列演变，如今，半导体激光器、光纤激光器、乃至紫外激光的出现和发展又对光学过程控制提出了新的挑战,振镜式激光打标头(振镜式扫描系统)是最新产品。1998年，振镜式扫描系统在中国的大规模应用开始到来。所谓振镜，又可以称之为电流表计，它的设计思路完全沿袭电流表的设计方法，镜片取代了表针，而探头的信号由计算机控制的-5V-5V或-10V－+10V的直流信号取代，以完成预定的动作。同转镜式扫描系统相同，这种典型的控制系统采用了一对折返镜，不同的是，驱动这套镜片的步进电机被伺服电机所取代，在这套控制系统中，位置传感器的使用和负反馈回路的设计思路进一步保证了系统的精度，整个系统的扫描速度和重复定位精度达到一个新的水平。

振镜扫描式打标头主要由XY扫描镜、场镜、振镜及计算机控制的打标软件等构成。根据激光波长的不同选用相应的光学元器件。相关的选件还包括激光扩束镜、激光器等。其工作原理是将激光束入射到两反射镜（扫描镜）上，用计算机控制反射镜的反射角度，这两个反射镜可分别沿X、Y轴扫描，从而达到激光束的偏转，使具有一定功率密度的激光聚焦点在打标材料上按所需的要求运动，从而在材料表面上留下永久的标记，聚焦的光斑可以是圆形或矩形，其原理如右图所示。在振镜扫描系统中，可以采用矢量图形及文字，这种方法采用了计算机中图形软件对图形的处理方式，具有作图效率高，图形精度好，无失真等特点，极大的提高了激光打标的质量和速度。同时振镜式打标也可采用点阵式打标方式，采用这种方式对于在线打标很适用，根据不同速度的生产线可以采用一个扫描振镜或两个扫描振镜，与前面所述的阵列式打标相比，可以标记更多的点阵信息，对于标记汉字字符具有更大的优势。

振镜扫描式打标因其应用范围广，可进行矢量打标和点阵打标，标记范围可调，而且具有响应速度快、打标速度高（每秒钟可打标几百个字符）、打标质量较高、光路密封性能好、对环境适应性强等优势已成为主流产品，并被认为代表了未来激光打标的发展方向，具有广阔的应用前景。

本公司采用国外最新技术，选用最好的配件生产激光打标头供应国内外市场。

型号规则：LSxx-xxxx-yy-AAAA

• LSxx： LSxx系列激光打标头（xx为SL、ST或JC，代表不同的系列振镜）

• xxxx：激光波长

• yy：最大入射光直径

• AAAA：其它说明

2D打标头

3D 打标头

说明：

• 上述打标头都有不同波长的特定应用，如 1064nm, 532nm, 355nm 或 10.6um，根据客户需要推荐适合的打标头，也有其它入射光直径的打标头。

• 控制信号是标准数字XY-100，也可以根据客户需要配置模拟输入控制。

• 打标头可以包含场镜、扩束镜和打标软件，也可以只是含有振镜、驱动卡、扫描镜和机械零件的基本型打标头。

LSST系列激光打标头

型号说明LSST-xxxx-yy-zzz-AAAA

• LSST：LSST系列打标头

• xxxx: 激光波长，如10.6um, 1064nm, 532nm, 355nm等

• yy:  通光口径

• AAAA: 振镜型号

说明：

• 上述打标头都有不同波长的特定应用，如 1064nm, 532nm, 355nm 或 10.6um，根据客户需要推荐适合的打标头，也有其它入射光直径的打标头。

• 定位速度和写字速度是在160mm焦距场镜、1mm字高、单笔字条件下。

• 数控信号是标配，也可以提供模拟信号控制。

• 免费提供适配的直流电源。

• 可以根据客户需要，配置扩束镜、场镜和打标软件。

LSCT-LXP系列打标扫描头

LXP系列打标扫描头采用即插即用封闭式结构，具有自动调谐功能，为高速打标专门设计。其适用于各类高要求应用，如高速打标、二维码打标、喷码、表面纹理加工等。支持行业标准电气接口，方便系统集成。兼容各类场镜，支持各种扫描加工范围。所有产品均可以与目前市场上软件及控制卡配套使用。

即插即用、卓越效能、性能优异：

• 预测式扫描控制模式可以实现高速扫描

• 高定位精度确保高输出品质

• 高扫描速度实现产能最大化

• 最优化部件支持高性能扫描

说明：

1. 设置值在位置的 1% 以内。

2. 使用 焦距160 mm场镜。

3. 单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。

4. 距均值的偏差 <3 sigma（各轴）。

5. 预热 30 分钟之后，在操作 24 小时过程之中，各轴。

6. 除非另有说明，所有角度均为光学角度。

LSCT-PS系列打标扫描振镜

ProSeies 两轴扫描振镜适用于众多高速扫描及高定位精度的应用需求。这些振镜可即插即用，并采用动磁式振镜电机和精密私服驱动从而达到极高的性能。同时支持符合行业标准的电气、机械、光学接口，可轻松实现集成。ProSeries是最适用于材料加工的产品，如高精度打标、划线、微加工、修复、雕刻及钻孔。

便捷、高性能、封闭式扫描振镜

• 高定位精度保证高输出品质

• 高扫描速度实现产能最大化

• 最优化部件支持高性能振镜

• 多样化设计服务于特殊应用

说明：

• 设置值在位置的 1% 以内。

• 使用 160 mm 场镜。

• 单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。

• 距均值的偏差 <3 sigma（各轴）。

• 预热 30 分钟之后，在操作 24 小时过程之中，各轴。

• 除非另有说明，否则所有角度均为光学角度。

LSCT-PS2系列大孔径扫描振镜

说明：

• 设置值在位置的 1% 以内。

• 使用 160 mm F-Theta 镜头。

• 单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。

• 距均值的偏差 <3 sigma（各轴）。

• 预热 30 分钟之后，在操作 24 小时过程之中，各轴。

• 除非另有指定，否则所有角度均为光学角度。

LSSL系列激光打标头 - 德国制造、小巧、快速、高精度

LSSL 系列打标头是一款动态控制和产品质量完美结合的打标头。这款打标头采用微型伺服电机和工业界认可的OSSL系列光学扫描马达，具有稳定的性能。供应7, 10和14mm系列光学孔径的打标头。

密封严实，防水防尘，LSSL系列灵活性和紧凑型设计使它可以被集成到环境要求苛刻以及难以到达的地方。本打标头可以配备多种场镜。

本打标头分模拟和数字接口。数字接口可以简单方便的采用一个PCI卡或者独立运行卡来控制。LSSL是快速打标和有限空间继承的理想解决方案。应用包括包装行业编码或电子产品打标—-这些被喷墨占据的传统行业。

典型应用领域：

• 包装行业打标

• 半导体行业

• 电子业

光学元件

我们精确优化并调试所有的光学元件，保证达到最佳的聚焦质量和稳定的过程参数。我们提供的光学产品有紧凑设计的物镜，包括标准物镜的转接件，还提供各种波长，功率密度，焦距和视场的光学元件。

控制

LSSL系列打标头标准配置接口有模拟和数字式两种，都是用25脚D型接头。可以用我们提供的PC接口卡或独立于PC运行的卡驱动。

质量

这款高质量打标头得益于我们多年来开发生产光学扫描振镜和扫描系统的经验。而且，每个扫描系统必须在运输给客户前经过我们质量检测。

常用参数指标 (所有角度以光学角度计算)

产品相关参数 (所有角度以光学角度计算)

LSCT-MV系列打标头

紧凑型 2 轴模拟扫描振镜，适用于工业打标、打码和微加工系统

我们的新一代 2 轴扫描振镜具有紧凑的工业设计，提高了产能和正常运行时间。凭借其紧凑的尺寸和符合行业标准的接口，而设计为易于系统集成而设计，非常适合于各种打标和打码工艺。特别是那些要求高产能和重复打标时质量可靠一致的场景。该系列打标头是非接触式打标的理想选择，适合制作徽标、字母数字代码、条形码、图形、过期日期和许多其他应用程序。它经过了许多极端条件测试，以确保可靠和安全，并达到 IP50 等级。

• 由于其体积小且支持行业标准接口和连接器，因此可以轻松地集成到现有系统中

• 改进的电子器件和调试设计带来高质量的字符打标

• 经测试可在极端条件下执行，以确保高质量和可靠性

技术参数

• 适合激光波长：CO2:  9.2-10.6μm;光纤：1040-1090nm;绿光：532nm;紫外：353-357nm

• 入射激光光束直径：£10mm

• 调试类型：矢量调整

• 扫描角度：±20°

• 光束位移：12.05 mm

• 阶跃响应时间1% 全角度：<210 μs

• 常规打标速度：2 3 m/s

• 常规定位速度：2 16 m/s

• 重复精度：<3.5 μrad

• 跟随误差： <130 μs

• 线性度：> 99.9% 超过 20°

• 增益误差: <5 mrad

• 零点漂移: <5 mrad

• 长时间漂移: <100 μrad

• 长时间比例漂移：<150  ppm

• 温度漂移： <20 μrad/°C

• 温度比例漂移： <20  ppm/°C

• 命令分辨率： 16 位

• 通讯接口：XY2 - 100

• IP 等级：IP50

• 电源要求：±15V, 3A RMS

• 工作环境温度：15 °C - 35 °C

• 重量： 1.5 kg

• 外形尺寸：114 mm x 86 mm x 97 mm

LSRL系列激光打标头

我们提供两轴激光扫描振镜/打标头，适用于各种不同的应用。两轴扫描振镜可以在X和Y方向上偏转激光束，产生一个二维区域，引导激光射向其中的任何位置。这个区域被称为打标范围，如图中所示。偏转是由两块镜片执行，其中每块由振镜电机移动。扫描振镜有一个光束输入端  ，激光束从此端输入，还有一个光束输出端，激光束偏转后从此端射出。

两轴扫描打标头主要产品表

STRL-RL-III系列扫描振镜

• 坚固、紧凑和轻便

• 基于最新伺服电子技术的低噪声和低漂移

• 非常快的打标速度

• 优异的性价比

• 输入孔径: 10mm、14mm

优势：新的RL-III有非常高的打标和定位速度并且有高性价比。由于其低噪声和漂移值及其坚固性，使得该系统非常适合在工业生产环境中使用。

可选配置：透镜、保护玻璃适用于多种标准激光器种类，波长1064 nm和10600 nm，功率密度，焦距和加工区域。这使得多种加工任务得以获得高质量和优化产量。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。

典型应用：针对动态打标任务，特别是飞行打标。由于新开发的具有强大的PWM输出级的控制，速度和动态响应得到了保证。

创新和品质：创新与保持产品的高品质是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数

• 电源：电压+/-15  V 至 +/-18 V；电流2 A, RMS最大 10 A；纹波/噪音最大 200  mVpp,@ 20 MHz 带宽

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 储存温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤ 80 % 无结露

• 外壳防护等级：IP  54

• 接口信号：数字XY2-100  协议

• 典型光学偏转角：±  0.393 rad

• 分辨率：  XY2-100 16-Bit 12 μrad

• 重复定位精度  (RMS)： < 2.0 μrad

• 温度漂移：最大增益漂 ¹ 15 ppm/K；最大位置漂移 ¹ 10 μrad/K

• 8h长期漂移 ¹ < 150 μrad

备注：1 = 光学角。每轴的漂移，30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。

10mm通光口径扫描振镜的技术参数

• 扫描振镜：RL-III-10

• 输入孔径 (mm)：10

• 光束位移 (mm)：12.4

• 重量（无透镜）(kg)：大约 0.9

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)：100.0 x 77.0 x 83

• 适用激光波长：1064  (nm) SI；10600 (nm) SI

• 打标调校 (MA)：针对打标应用的优化调校

• 字高/好打标质量下的打标速度  (cps) 1, 2：650 / 850

• 打标速度 (rad/s)：30

• 定位速度 (rad/s)3：85

• 追迹误差 (ms) 4  ：0.14

• 1%全行程阶跃响应时间 (ms)  5：0.40

备注：1.  F-Theta透镜F = 163 mm/幅面尺寸120 mm  x 120 mm。 2. 1 mm高的单线字。3. 速度计算：幅面速度 = F-Theta透镜焦距 × 定位速度。4. 计算加速时间约为2.3 × 追迹误差。5 设置为全行程的1/5000。

14mm通光口径扫描振镜的技术参数

• 扫描振镜：STRL-RL-III-14

• 输入孔径 (mm)：14

• 光束位移 (mm)：17.0

• 重量 (无透镜) (kg)：约 2.0

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)：134.0 x 98.0 x 100.3

• 适合激光波长：1064nm硅镜，10600nm硅镜

• 打标调校 (MA)：针对打标应用的优化调校

• 字高/一般字符质量的打标速度  (cps) 1, 2：500 / 650

• 加工速度 (rad/s)：30

• 定位速度 (rad/s)  3：60

• 追迹误差 (ms) 4：0.18

• 1%全行程阶跃响应时间 (ms)  5：0.45

备注：1..用F-Theta透镜 f = 163 mm / 幅面尺寸 120 mm x 120 mm 2. 1 mm高的单线字。3. 速度计算：幅面速度 = F-Theta透镜焦距 × 定位速度。4. 计算加速时间约为1.9 × 追迹误差。5. 稳定于全行程的1/1000。

STRL-MiniScann II扫描振镜

• 漂移极低

• 紧凑设计

• 坚固、防尘、适用于工业环境

• 对外界温度不敏感

• 可选输入孔径 7、10、14、20mm

优势：新一代 MINISCAN II 设计紧凑，温度漂移经过特别优化，降低 50%。完全防尘设计的外壳使 MINISCAN II 特别适合于恶劣工业环境下工作。

创新与品质：在RAYLASE, 创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

反射镜与物镜：反射镜和拥有优化镜座的物镜适用于几乎所有的典型激光器、波长、功率密度、焦距和工作幅面。也可以按照客户特殊要求定制。

接口：振镜兼容 XY2-100 标准。可以通过如 SP-ICE-1 PCI PRO 控制卡进行数字控制，或通过模拟电压 / 电流接口进行模拟控制。

典型应用：材料加工，如打标、钻孔、切割、焊接、硬化、成型。

选项：可提供相机适配器用于加工监控。

• 电源：电压：±15至±18V；电流：2 A, RMS,最大  10 A；纹波/噪音：20 MHz 带宽时最大200 mVpp

• 接口信号：模拟：±5  V, ±10 V；数字：XY2-100 协议

• 环境温度：+15 °C 至 +35 °C

• 存储温度：-10 °C 至 +60 °C

• 湿度：≤ 80 % 无结露

• 典型偏转角(光学)：±0,393 rad

• 分辨率：12  μrad

• 重复定位精度(RMS)：2 μrad

• 最大增益漂移¹：15 ppm/K

• 最大位置漂移¹：10 μrad/K

• 长期漂移¹,²：<150 μrad

备注：1 每轴的漂移。 2  预热之后，环境温度的波动 <1K。

备注：1. F-Theta透镜 f=163mm/幅面 120x120 mm。 2. 高 1  mm 单线字。

STRL-MiniScann III扫描振镜

• 通过SL2-100 20bit协议或XY2-100 16bit协议控制

• 数字控制、低噪音和低漂移

• 坚固，防尘，适用于工业环境

• 多种镜片基材和镀膜，特别是针对打标和激光清洗

• 可选输入孔径:  10mm、14mm和20mm

优势:新的MINISCAN III提供非常稳定的数字控制，进一步改善噪音和漂移值，从而使系统更加可靠和稳定。XY2-100 16位和SL2-100 20位协议可以与数字接口一起使用。相应的线缆定义使用的协议。

可选配置:透镜，保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类，波长，功率密度，焦距和工作幅面。这使多种加工应用得以获得最优化质量和加工效率。我们乐于为您提供最适合您应用的定制化配置。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。

典型应用:适合大部分应用，尤其针对高速烧蚀、表面清洗以及高要求的打标任务。数字控制和强大的pwm输出级保证了速度和动态响应。您还可以选择将MINISCAN III与我们的相机适配器和机器视觉控制组件结合起来进行过程监控。

创新与品质:创新与保持产品的高品质是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数

• 电源：电压：+30 或 +48V；电流：2A, RMS；最大  5A

• 纹波/噪音：最大 200mVpp@ 20MHz 带宽

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 储存温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤80% 无结露

• 外壳防护等级：IP  64

• 接口信号：数字XY2-100  增强协议；SL2-100 协议

• 典型偏转角：  0.393 rad

• 分辨率：XY2-100  16-Bit 12 μrad

• 分辨率：SL2-100  20-Bit 0.76 μrad

• 重复定位精度  (RMS)：< 2.0 μrad

• 定位噪声 (RMS)：< 4.5 μrad

• 温度漂移：最大增益漂移1 15 ppm/K；最大位置漂移1 10 μrad/K

• 8h长期漂移1 <  80μrad

备注：1 光学角。每轴的漂移，30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。

10mm通光孔径的技术参数

备注：1. 用F-Theta透镜 f = 163 mm / 幅面尺寸 120 mm x 120 mm。 2. 1 mm高的单线字。 3. 参考“速度计算”。4. 计算加速时间约为1.8 × 追迹误差。5. 设置为全行程的1/1,000。 6. 适合的激光波/355、532、1064、1070和10600nm。7. QU=石英,  SC=碳化硅, SI=硅。8. 调校分为快速向量调校(VC) （针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度）、打标调校 (MA) （针对打标应用的优化调校）、清洗调校 (C) （针对长矢量在最高速扫描时的优化调校）三种。9. 速度计算：幅面速度 = F-Theta透镜焦距 × 定位速度。

14mm通光孔径的技术参数

备注：1. F-Theta透镜f=163mm/幅面120 mm x 120 mm。 2. 1 mm 单线字。 3. 参考“速度计算” 4. 计算加速时间约为2.3 × 追迹误差。5. 计算加速时间约为1.9 × 追迹误差。 6. 计算加速时间约为2.0 × 追迹误差。 7. 设置为全行程的1/5,000。 8. 设置为全行程的1/1000。9. 适合的激光波长355、532、1064和1070nm。

20mm通光孔径的技术参数

备注：1. 参考“速度计算”。 2. 加速时间约为2.3× 追迹误差。3.  设置为全行程的1/5000。4. 适合激光波长1,064nm、900–1100 nm+AL、10600nm、515-540nm、1060-1090  nm+AL。

STRL-SS-IIE系列扫描振镜

• 双层壳式设计，极低漂移

• 适合高功率应用

• 可选配水冷和空气冷却

• “增强“ 选项改善50%的长期漂移

• 可选输入孔径: 7、10、12、15、20、30mm

优势：创新的热管理和模块化设计使SUPERSCAN IIE成为满足苛刻激光加工要求的极佳选择。“增强”选项可以提高50%的长期稳定性。还能够通过额外水冷进一步减小长期漂移。

反射镜与物镜：反射镜和拥有优化镜座的物镜适用于几乎所有的典型激光器、波长、功率密度、焦距和工作幅面。也可以按照客户特殊要求定制。

接口：振镜兼容XY2-100标准。可以通过如SP-ICE-1 PCIe PRO控制卡进行数字控制。

典型应用：材料处理如刻蚀、打标、去除、切割、焊接、打孔或高速飞行打标。水冷版本特别适合要求非常精细、极低误差的应用，例如微加工、钻孔、ITO成型或银浆刻蚀。

创新与品质：创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数：

• 电源：电压± 15  V 至 ± 18 V；电流3 A, RMS, 最大 10 A；纹波/噪音最大 200  mVpp,@ 20 MHz 带宽

• 接口信号：数字XY2-100  协议

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 存储温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤ 80 % 无结露

• 温度漂移：最大增益漂移 ¹ < 15 ppm/K；最大位置漂移 ¹ < 10 μrad/K

• 典型偏转角(光学)： ± 0.393 rad

• 光学分辨率：12 μrad

• 重复定位精度(RMS)： 2 μrad

• 8小时长期漂移 ¹, ² ：< 150  μrad

• 8小时长期漂移，有水冷 ¹, ³ ：< 100  μrad

• 定位噪声(RMS)： < 10 μrad

备注：1. 每轴的漂移。 2. 30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。 3. 30分钟预热后，保持冷却水≥2 l/min流量和22˚C水温时加工负荷变化。

备注：1. 熔石英反射镜的规格。 2. 仅配合AXIALSCAN使用，搭配带保护窗的输出板。

STR-SuperScan IV扫描振镜

• 通过20位SL2-100协议或16位XY2-100协议控制

• 得益于数字PWM输出级大幅降低了功耗和热能产生

• 快速动态响应和高速度促进生产效率

• 多种调试模式和镜片镀膜，适用于各种应用

• 适合输入孔径:10、15、20和30mm

优势:模组化数字控制技术提供了极强的动态响应和速度，在打标以及非常快速但是精准的成型、切割和钻孔等应用中真正发挥作用。坚固耐用的水冷外壳设计保证了即使在频繁改变光束方向和高跳转的情况下，也能保持稳定、低漂移的运行。坚固的水冷外壳设计，搭配石英反射镜，能够承受激光功率高达2kW（15mm通光孔径）、3kW（20mm通光孔径）、3kW（30mm通光孔径）。

可配置选项: 透镜、保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类、波长、功率密度、焦距和工作幅面。这使多种加工应用得以获得最优化质量和加工效率。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。

典型应用:应用范围包括打码、FPC结构切割以及铜箔的切割钻孔。由于采用了数字控制和强大的PWM输出级，速度和动态响应得到了保证。当与我们的相机适配器和MVC组件相结合时，就成为了理想的过程精密监控工具。

创新与品质:创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数

• 电源：电压：+30 或 +48V；电流：2A, RMS；最大  5A

• 纹波/噪音：最大 200mVpp@ 20MHz 带宽

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 储存温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤80% 无结露

• 外壳防护等级：IP  64

• 接口信号：数字XY2-100  增强协议；SL2-100 协议

• 典型偏转角：  0.393 rad

• 分辨率：XY2-100  16-Bit 12 μrad

• 分辨率：SL2-100  20-Bit 0.76 μrad

• 重复定位精度  (RMS)：< 2.0 μrad

• 定位噪声 (RMS)：< 4.5 μrad

• 温度漂移：最大增益漂移1 15 ppm/K；最大位置漂移1 10 μrad/K

• 8小时长期漂移，无水冷 ¹ < 60 μrad

• 8小时长期漂移，有水冷 ¹, ² < 40 μrad

备注：1. 光学角。每轴的漂移，30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。2. 30分钟预热后，保持冷却水≥ 2 l/min流量和22˚C水温时加工负荷变化。3.  适合激光波长355、532和1064nm。

10mm通光孔径的技术参数

• 扫描振镜：STRL-SUPERSCAN  IV

• 输入孔径(mm)：10

• 光束位移(mm)：12.5(SI)

• 重量(无透镜)(kg)：约3.2

• 尺寸(LxWxH)(mm)：170.0 x 125.0 x 117.5

备注：1. 参考“速度计算”。2. 稳定于全行程的1/5,000。 3. 计算加速时间约为1.9  × 追迹误差。4. 计算加速时间约为1.8 × 追迹误差。

15mm通光孔径的技术参数

• 扫描振镜：STRL-SUPERSCAN  IV

• 输入孔径(mm)：15

• 光束位移(mm)：18.1(QU，SI)，19.0（SC）

• 重量(无透镜)(kg)：约3.2

• 尺寸(LxWxH)(mm)：170.0 x 125.0 x 117.5

备注：1. 参考“速度计算”。 2. 设置为全行程的1/5,000。  3. 计算加速时间约为1.9 × 追迹误差。 4. 计算加速时间约为2.3 × 追迹误差。5. 调校分为快速向量调校 (VC) （针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度、清洗调校 (C) （针对长矢量在最高速扫描时的优化调校）、填充调校 (H) （针对填充，进行高精度光束偏转和最快的光束变向的优化调校）等三种。6. 适合波长355 nm QU、532 nm QU, SI、1,030 nm SC、1,064 nm QU, SI, SC、1,060 nm–1,080 nm (高功率镀膜) QU、10,600 nm SI, SC。这里QU=石英、SC=碳化硅、SI=硅等指反射镜片材料。

20mm通光孔径的技术参数

• 扫描振镜：STRL-SUPERSCAN  IV-20 QU

• 输入孔径(mm)：20

• 光束位移(mm)：25

• 重量(无透镜)(kg)：约5.5

• 尺寸(LxWxH)(mm)：203x159x150

备注：1. 参考“幅面内速度计算”。 2. 计算加速时间约为1.7 × 追迹误差。 3. 稳定于全行程的1/5,000。4.  适合激光波长355/532和1064nm。

30mm通光孔径的技术参数

• 扫描振镜：SUPERSCAN  IV

• 输入孔径 (mm)： 30

• 光束位移 (mm)： 36.0 (SI, SC), 35.4 (QU)

• 重量(无透镜) (kg) ：约 5.5

• 不锈钢外壳 (kg)：  约 12.0

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)： 203.0 x 159.0 x 150.0

备注：1. 参考“幅面内速度计算”。 2. 计算加速时间约为1.8 × 追迹误差。 3. 设置为全行程的1/5,000。4.  反射镜适用激光波长420 nm–480 nm QU、900  nm–1100 nm + AL QU, SC、1064 nm SI, SC, QU、1020 nm–1040 nm (高功率镀膜 > 3 kW) QU、1060 nm–1080 nm (高功率镀膜 > 3 kW) QU、10600 nm SI, SC。5. 调校分为快速向量调校 (VC) （针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度）、快速向量调校 (FV) （结合高动态性能和高速的优化调校）两种。

STR-SuperScan V扫描振镜

• 激光束定位分辨率高达20bit，SL2-100协议

• 数字编码器技术带来的最小化温漂和极低噪声

• 极佳的加速和精确的激光引导带来锐利的边角效果

• 可记录和诊断全部特性

• 输入孔径 (mm):  15、30

全数字反馈控制，快速且精确

优势：全数字反馈控制电路提供了极佳的动态性能，并且可以连续监测如反射镜位置和速度等参数。取决于使用的协议(SL2-100或XY2-100)，反射镜能够以至多20bits的分辨率进行定位。得益于数字电机的高加速特性和最高速度，能够非常快而精准的实现锐利边缘图形的扫描。

可配置选项：透镜,轻质碳化硅以及石英反射镜适用于所有常见的激光器种类,波长,功率等级,焦距和工作幅面。电子控制系统也支持额外的控制参数设置(调校选项)。我们乐于为您提供最适合您应用的优化配置。

典型应用：该扫描振镜是各种要求最高精度的高端激光加工应用的理想选择。通过反射镜的数字反馈控制定位持续保证精度。特别是如标记,焊接,钻孔或半导体晶圆成型,医疗产品和安保文档,芯片IC卡等激光加工应用均受益于SUPERSCAN  V的速度和精度。SUPERSCAN V-30配合我们的数字Z轴LT模组LT-II组成的AXIALSCAN-30，特别适用于增材制造领域。

创新与品质：创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数

• 电源：电压：+30 或 +48V；电流：2A, RMS；最大  5A

• 纹波/噪音：最大 200mVpp@ 20MHz 带宽

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 储存温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤80% 无结露

• 外壳防护等级：IP  64

• 接口信号：数字XY2-100  增强协议；SL2-100 协议

• 典型偏转角：  0.393 rad

• 分辨率：XY2-100  16-Bit 12 μrad

• 分辨率：SL2-100  20-Bit 0.76 μrad

• 重复定位精度  (RMS)：< 0.4μrad

• 定位噪声 (RMS)：< 2.0μrad

• 温度漂移：最大增益漂移1 8 ppm/K；最大位置漂移1 15 μrad/K

• 8小时长期漂移，无水冷 ¹ < 50 μrad

• 8小时长期漂移，有水冷 ¹, ² < 30 μrad

备注：1. 光学角。每轴的漂移，30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。2. 30分钟预热后，保持冷却水≥ 2 l/min流量和22˚C水温时加工负荷变化。

15mm通光口径的STRL-SuperScan  V扫描振镜

• 扫描振镜SUPERSCAN  V

• 输入孔径 (mm)  15

• 光束位移 (mm)  18.27 (SC), 18.33 (QU)

• 重量(不带透镜) (kg) 约 3.2

• 尺寸 (L x W  x H) (mm) 170.0 x 125.0 x 117.5

• 反射镜激光波长：355  nm SC, QU、405 nm QU、532 nm SC,  QU、1064 nm SC, QU、10600 nm SC、AG SC。

• 微加工调校：针对实现锐利拐角的高精度光束偏转和最小化追迹误差优化

备注: 1.  F-Theta透镜 f=163mm / 幅面 120mm × 120mm，高 1mm 单线字。 2.  参考”幅面内速度计算”。 3. 设为全行程的 1/5000

30mm通光口径的STRL-SuperScan V扫描振镜

• 扫描振镜SUPERSCAN  V

• 输入孔径 (mm)：30

• 光束位移 (mm)：35.7

• 重量(不带透镜) (kg)： 约5.5

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)：203x159x150

• 反射镜激光波长：  1064 nm SC、10600 nm SC。

• 微加工调校 (M):  针对具有锐利拐角和最小追迹误差的高精度光束偏转进行的优化调校

动态参数：

• 扫描振镜：STRL-SUPERSCAN  V-30-SC

• 反射镜类型：SC

• 调校：微加工

• 加工速度 (rad/s)  ¹：25 @ 30 V；30 @ 48 V

• 定位速度 (rad/s)  ¹：25 @ 30 V；30 @ 48 V

• 追迹误差 (ms) ²: 0.25

• 1%全行程阶跃响应时间 (ms)  ³ :0.66

备注：1 参考“速度计算”。 2. 计算加速时间约为1.7 × 追迹误差。 3. 设为全行程的1/5000。

三轴/前聚焦扫描振镜

前聚焦扫描振镜的开发是因两轴振镜受限于输出物镜的成本与大小，此限制有碍于在中等大小的扫描范围内产生较小光斑的功能。前聚焦扫描振镜满足客户对于小光斑大尺寸加工范围的应用要求，并允许用户在使用相同扫描振镜的状况下改变工作范围，距离和光斑大小。前聚焦技术也适用于移动物件的加工应用。在三维应用中，能够加工非平面物件或不光滑表面以及高功率产品。目前这些解决方案用于 Nd:YAG、半导体和CO2激光器。

在前聚焦扫描振镜工作时，激光束首先进入移动镜头。通过移动镜头之后，光束快速分散，接着进入一个或两个聚焦镜头。会聚的光束穿过镜头，并由一组 X 和 Y 镜片（这些镜片由振镜式扫描器移动）引导。X 和 Y 镜片呈直角排列，向下引导光束，覆盖工作范围的长和宽。

在没有焦点校正的扫描振镜中，向任一轴向移动工作范围中心聚焦的激光光斑时，都会划出一个弧形，在工作范围上方产生一个聚焦点的球面。在远离工作范围中心的位置，激光光束没有聚焦。这是因为当扫描器将光束向远离工作范围中心的方向引导时，镜头到工件的距离增加了。在前聚焦扫描振镜中，通过微调移动镜头和聚集镜头之间的距离来实现聚焦补偿，由于扫描器通过第三个移动轴—“Z”轴在整个工作范围内引导光束，故而得名“前聚焦扫描振镜”。

扫描振镜：STRL-AXIALSCAN FIBER-30

• 从250x250mm²到850x850mm²的大幅面可调节范围

• 具有额外保护窗和可选监控的防尘设计

• 针对电动车焊接应用的高功率版本或增材制造领域粉床加工(SLM)的高动态版本

• 集成光纤准直器和用于加工过程监控的采样光输出

优势：振镜可以通过下面、侧面和上面的各种机械接口方便地集成到任何激光系统中。附加的水平安装的光纤准直器可以连接激光光纤而无需光路对准，并允许安装到非常紧凑、高度很低的结构内。光输出孔允许在最低工作距离100%覆盖幅面。摄像机和焊接监控系统可适应激光输出并且无畸变。AXIALSCAN  FIBER-30完全防尘，因此非常适合在恶劣的工业环境中使用。

可选配置：合适的反射镜既可用于千瓦功率范围内的高性能焊接应用，也可用于高动态应用。光学配置可用于激光器及其光纤的所有标准光束参数。我们也很乐意帮助您为您的应用组成完美的配置。

典型应用：AXIALSCAN FIBER-30是我们对AXIALSCAN光纤耦合激光应用的高级增强版；是增材制造中粉床的理想选择。结合“四面设计”，每一个加工幅面的生产率提高了四倍。光输出能够连接合适的监控传感器，从而保证和记录质量参数。

创新与品质：创新与保持产品的高品质是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数：

• 电源：电压+48V；电流4A, RMS, 最大  8A；纹波/噪音 最大 200mVpp,@20MHz 带宽

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 储存温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤ 80 % 无结露

• 外壳防护等级：64

• 接口信号：数字RL3-100 协议20位和XY2-100协议16位或SL2-100协议20位

备注：1. 光学角。每轴的漂移，30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。2. 30分钟预热后，保持冷却水≥ 2 l/min流量和22 ˚C水温时加工负荷变化。* 高性能版本

机械参数：

• 激光光纤插口：QBH

• 光纤接口位置：上面 (T) 或 后面 (R)

• 重量 (kg)：大约 12

• 产品尺寸（不包括光纤插座和电气插头）(L x W x H) (mm)：270x140x320

备注：1 为最大光束发散角优化的光学设计

反射镜类型：

• 1060–1080nm，石英材质

• 1060–1090nm + AL，碳化硅

调校：

• 快速向量调校 (VC)：针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度。

• 填充调校 (H)：针对填充，进行高精度光束偏转和最快的光束变向的优化调校。

动态参数：

备注：1. 参考“速度计算”。 2. 计算加速时间约为1.7 × 追迹误差。3. 设置为全行程的1/5000。

幅面内最大速度计算:

• 1rad/s@±0.384rad偏转(44°)0.13m/s为100mm工作幅面。

• 例如: AXIALSCAN FIBER-30 QU, 工作幅面400mm×400mm (幅面因素=4), 定位速度50rad/s  => 50×0.13m/s×4=26m/s.

• 注意: 线性转换模块可能导致速度降低，这取决于所使用的控制卡、激光应用、幅面大小和光学配置。

选项:

AXIALSCAN FIBER-30 提供了直通(W)水冷温度控制用来冷却电子部件和振镜电机，以及空气冷却反射镜（SC镜的激光功率大于2千瓦，QU镜的激光功率大于3千瓦）。这保证了稳定工作和极好的长期可靠性，即使在高功率应用中也能够稳定运行。SUPERSCAN  V扫描振镜也可以不使用温度控制，可能导致温度漂移增大。

附加保护窗选项:

每个AXIALSCAN FIBER都可以配备一个额外保护窗。这个外部保护窗被安置在一个快拆门下，可以快速更换。这确保了在多尘环境和恶劣条件下快速方便地更换保护窗。这意味着所有保护窗的清洁都是在外部进行的，机器可以在很短的时间内再次运行。目前正在开发一种自动监测保护窗污染程度的方法。