连续深紫外单频激光器

OXIDE 的 Frequad 系列是一系列连续(CW) 单频深紫外激光器，是将 OXIDE 的波长转换技术、非线性晶体技术和独特的高速精密音圈马达 (VCM) 激光器相结合的成果，从而实现了连续稳定运行。原有的 Frequad 激光器（Frequad-HP、Frequad-M、Frequad-C）已有 20 多年的成功历史，新增加的产品（Frequad-M57、Frequad-W）是该系列的延伸，武汉新特光电是 OXIDE 在中国的指定经销商。

266nm连续深紫外激光器

266nm连续激光器是日本Oxide公司在激光器领域的产品里的主打系列，它的特点是具有世界最宽的输出功率范围20mW-2W，分为三种型号：Frequad-HP，Frequad-M，Frequad-C。266nm连续激光器可以说是该公司二十多年来激光器发展水平的体现，其采用纯度超高的BBO晶体，产生的激光具有高光束质量（M2<1.2）和高稳定性（1W下可连续工作3000小时），适合客户用于拉曼光谱，半导体检测等紫外光应用。

主要特点

• 使用超高纯度BBO晶体：OXIDE专有BBO晶体的卓越品质使该系统作为一个设备在0.3-1W的输出功率下运行了3000多个小时。由于晶体退化最小，高光束质量保证了长时间的稳定运行。

• 应用精密的伺服锁定技术: 独特的高速、高精度音圈电机（VCM）伺服执行器驱动激光器稳定的CW运行。

• 功耗极低: 高效的波长转换激光系统能够实现低于340W的极低功耗操作。

典型应用

• 拉曼光谱

• 半导体检测

• 光致发光

• 光纤布拉格光

• 磁盘控制

技术参数

系列	Frequad-HP	Frequad-M	Frequad-C
型号	FQ50-20/-10	FQM-20/-10/-07/-05/-03	FQC-50/-20
图片
波长	266nm	266nm	266nm
输出功率	2.0 / 1.0W	2.0 / 1.0 / 0.7 / 0.5 / 0.3W	50 / 20mW
线宽	<0.005pm	<0.005pm	<0.005pm
功率稳定性	< +/-1 %/8 hrs	< +/-1 %/8 hrs	< +/-3 %/8 hrs
消光比	>100:1	>100:1	>100:1
光束质量	TEM00,    M2 < 1.2	TEM00,    M2 < 1.2	TEM00,    M2 < 1.3
偏振	垂直、线性	垂直、线性	垂直、线性
光束直径	3mm ±    0.3mm	3mm ±    0.3mm	0.8mm ±    0.2mm
光束发散角(1/e2)	<0.2mrad	<0.2mrad	<0.4mrad
工作电源	AC100-240V,    50/60Hz	AC100-240V,    50/60Hz	AC100-240V,    50/60Hz
功耗	<300W	<340W    (<400W for 2W model)	<70W
冷却	风冷	水冷	风冷
尺寸	240 x 840    x 160mm	350 x 590    x 124mm	153 x 202    x 79mm

2.Frequad-M57系列257.5nm单频深紫外连续激光器

257.5nm连续激光器（Frequad-M57）是连续（CW）单频深紫外激光器，是OXIDE波长转换技术和非线性晶体技术相结合的产物。传承日本OXIDE品牌深厚的技术底蕴与严格的制作工艺，能够保证产品的优异性能以及优秀品质。其输出功率覆盖区间0.3w-1w，可适配多种激光能量需求；光束质量良好，光束质量因子 M²<1.2，能量高度汇聚，光斑均匀精准，可应用于精细加工、科学研究等范畴。运行时，因为优异的性能，需要为其配置水冷装置，确保设备在各种工作环境下仍可以保证稳定输出。由于其波长与气体激光器氩离子激光器的二次谐波（SHG）相同，专为现有气体激光器用户或该波长的新用户设计，不易操作和维护。它不仅稳定，而且高度可靠。因此，当应用于光刻设备、检测工具和现场流量计时，它可以做到降低维护频率和运行成本。它基于Frequad系列（Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C）成功的基础上，应用了OXIDE的全部核心技术。作为具有266nm深紫外（DUV）波长的连续（CW）单频波长转换激光器已有20多年的历史.

主要特点

• 使用超高纯度BBO晶体：OXIDE专有BBO晶体的卓越品质使该系统作为一个设备在0.3-1W的输出功率下运行了3000多个小时。由于晶体退化最小，高光束质量保证了长时间的稳定运行。

• 应用精密的伺服锁定技术: 独特的高速、高精度音圈电机（VCM）伺服执行器驱动激光器稳定的CW运行。

• 功耗极低: 高效的波长转换激光系统能够实现低于340W的极低功耗操作。

典型应用

• 半导体检测和光刻设备

• 拉曼光谱、光电子能谱

• 光致发光

• 磁盘主控

• 光纤布拉格光栅制造

• 生物技术

技术参数

3.Frequad-W系列213nm连续深紫外激光器

Frequad-W系列的213nm连续激光器是连续单频深紫外激光器，是OXIDE波长转换技术和非线性晶体技术相结合的产物。它在我们的连续激光器中波长最短，不仅适用于光电子能谱等科学技术应用，而且由于其高可靠性，也适用于工业应用。Frequad-W系列213nm连续激光器提供10mw和20mw两种功率，光束质量良好，光斑圆且能量匀，可以满足绝大部分激光实验以及激光加工的光束质量要求。其激光偏振态为垂直偏振且线性，电耗<300W，运行噪声极低，保障运行稳定。因为低输出功率的特性使其无需搭配水冷装置使用，降低使用成本的同时，在各种使用场景也将更加便捷。

主要特点

• 使用超高纯度BBO晶体：OXIDE专有BBO晶体的卓越品质使该系统作为一个设备在0.3-1W的输出功率下运行了3000多个小时。由于晶体退化最小，高光束质量保证了长时间的稳定运行。

• 应用精密的伺服锁定技术: 独特的高速、高精度音圈电机（VCM）伺服执行器驱动激光器稳定的CW运行。

• 功耗极低: 高效的波长转换激光系统能够实现低于340W的极低功耗操作。

典型应用

• 半导体检测和光刻设备

• 拉曼光谱、光电子光谱

• 光致发光

• 磁盘主控

• 生物技术

技术参数

4.236.5nm连续深紫外激光器 – 原形可用!

典型应用

• 半导体检测

• 光致发光分析

• 紫外拉曼光谱

技术参数